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高精度微纳表面结构测量仪

发布时间: 2020-11-13

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 新技术
行业领域：
高端装备制造产业,制造业
成果介绍

随着先进制造技术的发展，微纳结构表面已广泛应用于集成电路、微机电系统、先进光学成像、光伏新能源、军事隐身等诸多领域，对相关高端功能实现和性能提升起重要作用。这些微纳结构几何特征测量、分析和评定，是其制造质量评价、控制和功能可靠保证的基础。本项目围绕多样性应用领域微米尺度、纳米尺度、微纳米组合表面结构精密测量的广泛需求，研发了微纳表面结构高效精密测量仪器，可满足国家重大工程和前沿科研领域中多种尺度微纳表面结构的测量需求。

成果亮点
团队介绍
成果资料