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高密度等离体镀膜技术与装备

发布时间: 2022-11-09

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 委托开发
成果类型: 发明专利,实用新型专利,软件著作权
行业领域:
新材料技术,高分子材料
成果介绍
1.电源: 1)高功率脉冲磁控溅射电源 2)高功率脉冲弧电源 3)高频同步偏压电源; 2.工艺和设备 1)陶瓷、光纤金属化涂层技术 2)生物医疗涂层处理技术; 3)超薄刃口低损伤处理技术; 4)管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备技术; 5)超厚DLC膜层技术;
成果亮点
1.电源: 1)HiPIMS(高功率脉冲磁控溅射电源) HiPIMS(高功率脉冲磁控溅射电源)可直流+脉冲组合输出,脉冲峰值电流高,具有高离化率,放电密度大、粒子能量高、反应活性好。可作为直流磁控溅射电源的升级替代方案。抗腐蚀、耐磨损的硬质镀膜工艺中,高功率脉冲磁控溅射应用是首选。 2)高功率脉冲弧电源 高功率脉冲弧电源具有引弧、断弧自检及重引弧的功能。具有离子束密度高、沉积态涂层表面光滑的特性。 3)高频同步偏压电源 高频同步偏压电源在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压,电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,提高工艺可控性。 2.工艺和设备 1)陶瓷、光纤金属化涂层技术 2)生物医疗涂层处理技术 3)超薄刃口低损伤处理技术; 4)管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备技术 5)超厚DLC膜层技术
团队介绍
东莞市松山湖材料实验室等离子团队成立于2019年12月,其孵化公司_新铂科技(东莞)有限公司成立于2020 年12 月14日,注册资本500 万元人民币。是国内专业从事真空镀膜系统的研发、制造、销售为一体的国家级高新技术企业。 团队现有20余人。研发人员均为硕士及以上学历(其中博士6人)负责人为来自哈尔滨工业大学的田修波教授。从1990年开始,专家团队在国内率先开展了复合脉冲镀膜电源,尤其是高功率脉冲磁控、高功率辉光放电以及高功率脉冲多弧电源及放电技术的研究,已经有近30年的积累。专家团队研发的基于高离化率等离子体镀膜技术,已经应用于医疗、半导体、通讯、能源、穿戴等多个关键领域,在相关领域发表学术论文300余篇,申请专利30多项。
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