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一种用于加工微纳结构的光镊打印装置

发布时间: 2023-01-13

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 实用新型专利
行业领域:
电子信息技术,新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍
本实用新型提供了一种用于加工微纳结构的光镊打印装置,包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台;所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射镜,所述反射镜顺次连接有第三凸透镜、电荷耦合元件CCD。
成果亮点
该装置在加工精度和可重复性比化学方法加工的维纳结构更好,在实验复杂性和加工价格方面比聚焦离子束光刻和电子束光刻更好。
团队介绍
主要发明人简介: 袁小聪教授,第六届国务院学位委员会学科评议组成员,光学信息技术科学教育部重点实验室主任,SPIE Fellow,OSA Fellow,OSA Fellow Members Committee及Meetings Council委员。伦敦大学国王学院(King's College)物理学博士学位(1994),剑桥大学卡文迪许实验室(Cavendish Laboratory)博士后(1994-1999),1999-2008在新加坡南洋理工大学微电子系任教(获终身教职),2008-2013在南开大学现代光学研究所任特聘教授,2013在深圳大学任特聘教授、微纳光学研究所所长。在奇点光学、光学旋涡、新型光束与表面等离激元调控及其在光学操纵、高灵敏传感、超分辨显微成像、新型表面增强拉曼光谱的应用等方面发表SCI论文200余篇
成果资料
产业化落地方案
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