金刚石制备设备升级

发布时间: 2023-01-08

来源: 试点城市（园区）

截止日期:2023-01-31

价格双方协商

地区：内蒙古自治区包头市九原区

需求方：包头***公司

行业领域

制造业,专用设备制造业,通用设备制造业

需求背景

金刚石在所有物质中具有最高的硬度，室温下有最高的热导率，极低的热膨胀系数，高化学惰性，大的禁带宽度，最高的声传播速率，以及从远红外光区到深紫外光区的高透明性等十分优异的性能，使得金刚石具有广阔的应用前景。

需解决的主要技术难题

该企业目前使用微波等离子体化学气相沉积法制备高纯度，低错位密度的金刚石片。需要提升制备金刚石设备的能力及工艺方法。

期望实现的主要技术目标

成品单晶金刚石参数：（2.3是最核心指标）

1. 尺寸：3-8mm 边长，厚度0.3-1mm, 上下晶面（100）

2. 杂质含量：[N0s] <5ppb

3. 偏振光下的双折射损失(Birefringence loss of polarization (∆n)) < 2 × 10-5 （在可见光和近红外光区间）

4. 电子/空穴迁移率 >2000 cm2/Vs

设备上主要难点在于控制微波等离子体的稳定性和反应腔内各种场的动态匹配，要求整个微波系统的稳定性一般表现就是输出状态稳定波形稳定。无具体参数。（设备经费面议）

处理进度

科创中国