需求解析

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技术研发指南

现有涂布机中对管道进行排泡处理一般采用多次排泡和分段排泡的方式来完成,其中排泡次数通常由经验值进行确定,但是这两种方式通常可以将大颗气泡排出,但是微小气泡通常聚集与管路系统的接口和附着在管壁上无法排出。

在现有的方式中,会出现排泡不尽的情形或者需要很多次的排泡过程才能将气泡排尽,在第一种情形中,如果管道中排泡不尽通常会导致通过喷嘴向基板最终的涂布效果不均匀,使得产品品质发生异常,甚至导致产品失败,而处理这些异常无疑会导致产能下降;在另一种情形中,如果需而很多次的排泡过程,则需要进行多次的排泡过程,每次的排泡过程均需要光阻在管道中流动,故会导致光阻的浪费。

在相同光阻用量下提高排泡效率,能很好地将基板涂布机的管路中的气泡排尽,并能节省光阻,提高光阻的利用效率。

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